| 加工定制：是 | 品牌：爱发科 | 型号：CS-200 |
| 用途：电极成膜/多层电极及同时成膜应用 |
产品特性：
? 通过利用常规过程数据和专有技术重新设计了易用性
? 通过在负载锁定室中安装暗盒机构（可选）来提高生产率
? 基板传送尺寸为Φ300mm（在中心Φ200mm处***了厚度分布）。
? 支持堆叠/同时溅射多个阴极
? 通过触摸屏和配方输入自动处理，节省了人工
? 可以记录数据
产品应用：
? 电极成膜/多层电极及同时成膜应用
? 形成狄登膜，绝缘膜，钝化膜，保护膜等
? 用于电子零件和小规模生产的研发
