| 加工定制：是 | 品牌：爱发科 | 型号： CC-200 |
| 用途：太阳电池开发 |
产品简介：
Load-lock式Plasma CVD设备CC-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备。
产品特性：
? 27.12MHz高密度等离子制程
? SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可对应SiO2膜
? 以CF4+O2 Plasma实现腔体清洁功能
? 可对应有机EL（OLED）的低温成膜用heater
? 使用Tray可搬送多种基板尺寸
? 通过使用真空Box实现C系列的间接连续制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）
产品应用：
? 功率器件
? LED、LD、高速device等化合物相关
? 有机EL（OLED）开发
? 太阳电池开发
