蒸发台Ei系列ei-5z详细介绍

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产品名称：蒸发Ei系列 ei-5z1.Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板进行集中控制，实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作，适用于研究开发及少量生产
2.蒸发材料：金属，ITO，二氧化硅等材料

产品特性：

 ?    金属,合金,非金属,化合物等材料的高品质蒸发镀膜                                                 

 ?    镀膜精度高,可达10E-10m

 ?    蒸发镀膜的纯度高,附着力强

 ?    镀膜的均匀性好,重复性优异

 ?    配置离子源进行表面处理                           

 ?    配置热阻蒸发,省材料

 ?    上位通信,材料扫描功能                                    

 ?    C2～12inch,不定型片,方片蒸发

产品应用：

 ?    功率器件

 ?    LED

 ?    光通信/传感器     

 ?    LD   

 ?    高校及研究所等